真空固化爐是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中對聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備,烘箱溫度最高可達(dá)450°c 固化爐的工作原理和操作流程:
1、固化爐工作原理
以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源,利用風(fēng)機(jī)對加熱總成對流換氣的方式加熱空氣,通過熱空氣與物料的熱量傳遞,空氣通過進(jìn)風(fēng)口不斷補(bǔ)充,濕空氣排出箱外,使?fàn)t內(nèi)的溫度不斷提高,模具逐漸預(yù)熱。 操作程序。
2、固化爐開機(jī)前準(zhǔn)備
?、賺徫徊僮魅藛T開機(jī)前首先必須熟悉本機(jī)的結(jié)構(gòu)性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識。
②檢查設(shè)備的狀態(tài)標(biāo)志及衛(wèi)生清潔狀況。
?、蹤z查電器系統(tǒng)是否完好,電動機(jī)是有無受潮漏電。
3、固化爐操作過程
?、偈紫葘⑴_車及爐內(nèi)部清洗干凈。
?、诖蜷_供電設(shè)備電源開關(guān)、打開設(shè)備“電源開關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
?、鄞蜷_爐門,將模具及物料放上臺車推入烘爐內(nèi),關(guān)閉爐門。
④設(shè)定烘爐溫度,并打開烘爐“風(fēng)機(jī)”及“升溫”按鈕。
?、葸_(dá)到固化時間打開爐門,將臺車推出爐門,取出固化后的物料。
⑥當(dāng)工作結(jié)束時,分別關(guān)閉“升溫”和“風(fēng)機(jī)”按鈕,使加熱系統(tǒng)、鼓風(fēng)系統(tǒng)停止工作。
?、咦詈箨P(guān)閉“電源開關(guān)”旋鈕,合上總閘,打開爐門,取出已烘干的物料,工作程序結(jié)束。
4、固化爐操作注意事項
①烘爐安裝場地應(yīng)平整、光滑。
?、陔娖骺刂迫藛T有專業(yè)的管理和維修;當(dāng)爐箱不用時,應(yīng)切斷電源,確保安全。
③切勿將易燃易爆物品放入烘爐內(nèi),以免發(fā)生安全事故。
以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程,希望以上知識對您有所幫助!