真空固化爐是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設備,烘箱溫度最高可達450°c 固化爐的工作原理和操作流程:
1、固化爐工作原理
以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源,利用風機對加熱總成對流換氣的方式加熱空氣,通過熱空氣與物料的熱量傳遞,空氣通過進風口不斷補充,濕空氣排出箱外,使爐內(nèi)的溫度不斷提高,模具逐漸預熱。 操作程序。
2、固化爐開機前準備
①崗位操作人員開機前首先必須熟悉本機的結(jié)構(gòu)性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識。
?、跈z查設備的狀態(tài)標志及衛(wèi)生清潔狀況。
③檢查電器系統(tǒng)是否完好,電動機是有無受潮漏電。
3、固化爐操作過程
①首先將臺車及爐內(nèi)部清洗干凈。
?、诖蜷_供電設備電源開關(guān)、打開設備“電源開關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
③打開爐門,將模具及物料放上臺車推入烘爐內(nèi),關(guān)閉爐門。
④設定烘爐溫度,并打開烘爐“風機”及“升溫”按鈕。
?、葸_到固化時間打開爐門,將臺車推出爐門,取出固化后的物料。
?、蕻敼ぷ鹘Y(jié)束時,分別關(guān)閉“升溫”和“風機”按鈕,使加熱系統(tǒng)、鼓風系統(tǒng)停止工作。
?、咦詈箨P(guān)閉“電源開關(guān)”旋鈕,合上總閘,打開爐門,取出已烘干的物料,工作程序結(jié)束。
4、固化爐操作注意事項
?、俸鏍t安裝場地應平整、光滑。
?、陔娖骺刂迫藛T有專業(yè)的管理和維修;當爐箱不用時,應切斷電源,確保安全。
③切勿將易燃易爆物品放入烘爐內(nèi),以免發(fā)生安全事故。
以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程,希望以上知識對您有所幫助!